Mittelspannungs-Flexkabel mit Geflechtschirmung – Schwarz, 2,5 mm², 30 kV DC für die Halbleiterfertigung
Anwendung: Halbleiterfertigungsindustrie Abschnittsbereich: 2,5 mm² (0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² optional), Stromspannung: 30 kV DC (10 / 20 / 30 / 50 / 80 / 100 / 120 / 150 kV DC optional), Kabelfarbe: Schwarz (Rot / Gelb / Blau / Weiß / Schwarz / Grün / Braun / Orange / Grau optional), Leiter: TC Stranded Klasse 5, Isolierung: Flexible Silikonkautschukmischung Weiß, Bildschirm: TCWB verzinntes Kupferdrahtgeflecht, Mantel: Flexible Silikonkautschukmischung Schwarz
Dieses hochleistungsfähige, flexible, geflochtene und geschirmte Mittelspannungskabel verfügt über eine 2,5 mm² Einzeladerkonstruktion und wurde speziell für Halbleiterfertigungsanlagen entwickelt, die eine 30-kVDC-Fähigkeit erfordern und sich durch außergewöhnliche Flexibilität, Temperaturbeständigkeit bis 180 °C und robusten EMI-Schutz in Reinraum- und Vakuumumgebungen auszeichnen.
Der TC-Litzenleiter der Klasse 5 bietet ultrafeine Litzen für maximale Flexibilität, hervorragende Leitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit – unerlässlich für die interne Verdrahtung von Halbleiteranlagen. Die flexible Silikonkautschuk-Isolierung in Weiß zeichnet sich durch eine herausragende Durchschlagsfestigkeit von 30 kV DC, thermische Stabilität bis 180 °C und geringe Ausgasungseigenschaften aus, die für Vakuumumgebungen entscheidend sind. Die TCWB-Abschirmung aus verzinntem Kupferdrahtgeflecht bietet robusten EMV-Schutz für empfindliche Halbleiter-Prozesssteuerungs- und Messsysteme. Der flexible Silikonkautschukmantel in Schwarz bietet hervorragenden mechanischen Schutz, chemische Beständigkeit gegenüber Halbleiter-Prozessgasen, UV-Beständigkeit und ein professionelles Erscheinungsbild, das sich für Reinraumumgebungen eignet.
Mit Litzen der Klasse 5 für maximale Flexibilität, Querschnittsflächen von 0,20 mm² bis 10,0 mm², Gleichspannungsnennwerten von 10 kV bis 150 kV und einer breiten Farbpalette eignet sich diese Kabelplattform für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterfertigung, die flexible, geschirmte Mittelspannungskabel erfordern.
| Parameter | Details |
|---|---|
| Typ | Mittelspannungs-flexibles, geflochtenes, geschirmtes Kabel |
| Konfiguration | Einzelkern |
| Leiter | TC gestrandet Klasse 5 |
| Abschnittsbereiche | 0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² optional |
| Isolierung | Flexible Silikonkautschukmischung, weiß |
| Bildschirm | TCWB verzinntes Kupferdrahtgeflecht |
| Mantel | Flexible Silikonkautschukmischung, schwarz |
| Nennspannung | 30 kVDC (10–150 kVDC optional) |
| Temperaturbewertung | 180°C |
| Farboptionen | Rot, Gelb, Blau, Weiß, Schwarz, Grün, Braun, Orange, Grau |
| Anwendung | Halbleiterfertigungsindustrie |
Dieses Mittelspannungskabel wurde speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt. Die Litzenverdrahtung der Klasse 5 ermöglicht maximale Flexibilität bei enger Verlegung in Halbleiteranlagen. Silikonisolierung und -mantel gewährleisten geringe Ausgasung für Vakuumumgebungen (Kammern, Schleusen) und chemische Beständigkeit gegenüber Prozessgasen. Das TCWB-Geflecht sorgt für zuverlässigen EMV-Schutz bei empfindlichen Prozesssteuerungen. Der schwarze Mantel verleiht dem Kabel ein professionelles Erscheinungsbild und kaschiert Gebrauchsspuren in Reinräumen.
- Ausrüstung zur Ionenimplantation: Bietet Mittelspannungsanschlüsse für Ionenstrahl-Stromversorgungen und Beschleunigungssäulen.
- Plasmaätzsysteme: Liefert zuverlässige Hochspannungskabel für die Plasmaerzeugung und Vorspannungsnetzteile
- Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD): Liefert Stromanschlüsse für die Sputterkathode von Dünnschichtabscheidungsanlagen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD): Bietet Hochspannungsverkabelung für plasmaverstärkte CVD-Systeme
- Wafer-Handling-Roboter: Ermöglicht flexible Hochspannungsanschlüsse für elektrostatische Wafer-Chucks und Greifer
- Messtechnik und Prüfwerkzeuge: Liefert abgeschirmte Hochspannungskabel für Elektronenstrahl-Inspektionssysteme
- Durchführungen für die Vakuumkammer: Bietet HV-Anschlüsse mit geringer Ausgasung für die interne Verkabelung der Kammer.
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Häufig gestellte Fragen
Frage 1: Warum eignet sich Silikonisolierung für die Halbleiterherstellung?
A: Silikon bietet geringe Ausgasungseigenschaften, die für Vakuumumgebungen unerlässlich sind, eine ausgezeichnete Flexibilität und chemische Beständigkeit gegenüber Gasen aus der Halbleiterverarbeitung.
Frage 2: Welche Spannungswerte sind für dieses Kabel verfügbar?
A: DC-Spannungsoptionen: 10 kV, 20 kV, 30 kV, 50 kV, 80 kV, 100 kV, 120 kV, 150 kV, um den Anforderungen der Halbleiterwerkzeuge gerecht zu werden.
Frage 3: Welche Leitergrößen sind verfügbar?
A: Querschnittsflächen: 0,20, 0,35, 0,50, 0,75, 1,0, 1,5, 2,5, 4,0, 6,0, 10,0 mm² für verschiedene Stromanforderungen.
Frage 4: Warum ist versilbertes oder vernickeltes Kupfer für diese Anwendung nicht erforderlich?
A: TC-verzinntes Kupfer bietet für die meisten Halbleiterfertigungsumgebungen eine ausreichende Korrosionsbeständigkeit; SPC oder NPC sind auf Anfrage für extreme Bedingungen erhältlich.
F5: Ist dieses Kabel für Reinräume geeignet?
A: Ja, Silikonmaterialien sind reinraumtauglich, da sie eine geringe Partikelbildung und eine chemische Beständigkeit gegenüber gängigen Reinigungsmitteln aufweisen.