Cavo schermato flessibile a treccia per media tensione – Nero 2,5 mm² 30 kV CC per la produzione di semiconduttori
Applicazione: Industria manifatturiera dei semiconduttori, Area della sezione: 2,5 mm² (0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² Opzionale), voltaggio: 30 kV CC (10 / 20 / 30 / 50 / 80 / 100 / 120 / 150 kV CC opzionale), Colore del cavo: Nero (Rosso / Giallo / Blu / Bianco / Nero / Verde / Marrone / Arancione / Grigio opzionale), Conduttore: TC Stranded Classe 5, Isolamento: Mescola flessibile di gomma siliconica bianca, Schermo: Treccia di filo di rame stagnato TCWB, Guaina: Mescola di gomma siliconica flessibile nera
Questo cavo schermato flessibile a treccia ad alte prestazioni per media tensione presenta una struttura a singolo conduttore da 2,5 mm², specificamente progettata per apparecchiature di produzione di semiconduttori che richiedono una capacità di 30 kV CC con eccezionale flessibilità, resistenza a temperature fino a 180 °C e robusta protezione EMI in ambienti a camera bianca e sottovuoto.
Il conduttore TC a trefoli di Classe 5 offre una trefolatura ultrafine per la massima flessibilità, un'eccellente conduttività e resistenza alla corrosione, caratteristiche essenziali per il cablaggio interno degli strumenti per semiconduttori. L'isolamento flessibile in gomma siliconica bianca offre un'eccezionale rigidità dielettrica per una resistenza a 30 kV CC, stabilità termica fino a 180 °C e basse proprietà di degassamento, fondamentali per gli ambienti sottovuoto. La schermatura a treccia in filo di rame stagnato TCWB fornisce una robusta protezione EMI per i sistemi di controllo e misurazione dei processi dei semiconduttori più sensibili. La guaina flessibile in gomma siliconica nera offre una protezione meccanica superiore, resistenza chimica ai gas di processo dei semiconduttori, stabilità ai raggi UV e un aspetto professionale adatto agli ambienti a camera bianca.
Grazie alla trefolatura di Classe 5 per la massima flessibilità, alle sezioni da 0,20 mm² a 10,0 mm², alle tensioni CC da 10 kV a 150 kV e a una gamma completa di colori, questa piattaforma di cavi si adatta a una vasta gamma di applicazioni di produzione di semiconduttori che richiedono cavi di media tensione flessibili e schermati.
| Parametro | Dettagli |
|---|---|
| Tipo | Cavo schermato a treccia flessibile per media tensione |
| Configurazione | Nucleo singolo |
| Conduttore | TC bloccato Classe 5 |
| Aree della sezione | 0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² opzionale |
| Isolamento | mescola di gomma siliconica flessibile, bianca |
| Schermo | Treccia di filo di rame stagnato TCWB |
| Guaina | mescola di gomma siliconica flessibile, nera |
| Valore di tensione nominale | 30 kV CC (10-150 kV CC opzionale) |
| Temperatura nominale | 180 °C |
| Opzioni di colore | Rosso, giallo, blu, bianco, nero, verde, marrone, arancione, grigio |
| Applicazione | industria manifatturiera dei semiconduttori |
Questo cavo di media tensione è specificamente progettato per le esigenze più stringenti della produzione di semiconduttori. La trefolatura di classe 5 offre la massima flessibilità per un instradamento preciso negli strumenti per semiconduttori. L'isolamento e la guaina in silicone garantiscono una bassa emissione di gas per ambienti sottovuoto (camere, celle di carico) e resistenza chimica ai gas di processo. La treccia TCWB assicura una robusta protezione EMI per il controllo di processo sensibile. La guaina nera conferisce un aspetto professionale e nasconde i segni di manipolazione negli ambienti a camera bianca.
- Apparecchiature per l'impianto ionico: Fornisce connessioni di media tensione per gli alimentatori del fascio ionico e le colonne di accelerazione
- Sistemi di incisione al plasma: Fornisce un cablaggio ad alta tensione affidabile per la generazione di plasma e gli alimentatori di polarizzazione
- Deposizione fisica da fase vapore (PVD): Fornisce i collegamenti di alimentazione del catodo di sputtering per gli strumenti di deposizione di film sottili
- Deposizione chimica da fase vapore (CVD): Fornisce il cablaggio ad alta tensione per i sistemi CVD potenziati al plasma
- Robot per la movimentazione di wafer: Consente connessioni ad alta tensione flessibili per mandrini e pinze elettrostatiche per wafer.
- Strumenti di metrologia e ispezione: Fornisce cavi ad alta tensione schermati per sistemi di ispezione a fascio di elettroni.
- Passaggi passanti per la camera a vuoto: Fornisce connessioni ad alta tensione a bassa emissione di gas per il cablaggio interno della camera
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FAQ
D1: Perché l'isolamento in silicone è adatto alla produzione di semiconduttori?
A: Il silicone offre basse emissioni di gas, essenziali per gli ambienti sottovuoto, un'eccellente flessibilità e resistenza chimica ai gas utilizzati nei processi di lavorazione dei semiconduttori.
D2: Quali sono i valori di tensione nominali disponibili per questo cavo?
A: Opzioni di tensione CC: 10 kV, 20 kV, 30 kV, 50 kV, 80 kV, 100 kV, 120 kV, 150 kV per soddisfare i requisiti degli strumenti per semiconduttori.
D3: Quali sezioni di conduttore sono disponibili?
A: Aree della sezione: 0,20, 0,35, 0,50, 0,75, 1,0, 1,5, 2,5, 4,0, 6,0, 10,0 mm² per diverse esigenze di corrente.
D4: Perché per questa applicazione non è necessario il rame placcato in argento o nichel?
A: Il rame stagnato TC offre un'adeguata resistenza alla corrosione per la maggior parte degli ambienti di produzione di semiconduttori; SPC o NPC sono disponibili su richiesta per condizioni estreme.
D5: Questo cavo è compatibile con le camere bianche?
R: Sì, i materiali siliconici sono compatibili con le camere bianche, grazie alla bassa generazione di particelle e alla resistenza chimica ai comuni agenti detergenti.