반도체 제조용 중전압 연성 편조 차폐 케이블 - 검정색 2.5mm² 30kVDC
애플리케이션: 반도체 제조 산업, 단면적: 2.5mm² (0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm² 선택 가능) 전압: 30kVDC (10/20/30/50/80/100/120/150kV DC 옵션) 케이블 색상: 검정색 (빨간색/노란색/파란색/흰색/검정색/녹색/갈색/주황색/회색 선택 가능) 지휘자: TC 좌초 클래스 5, 격리: 유연한 실리콘 고무 화합물(흰색) 화면: TCWB 주석 도금 구리선 편조, 칼집: 유연한 실리콘 고무 화합물 (검정색)
이 고성능 중전압 유연 편조 차폐 케이블은 2.5mm² 단일 코어 구조로, 탁월한 유연성, 180°C의 내열성, 클린룸 및 진공 환경에서의 강력한 EMI 보호 기능을 갖춘 30kVDC 용량의 반도체 제조 장비용으로 특별히 설계되었습니다.
TC 연선형 5등급 도체는 최상의 유연성, 탁월한 전도성 및 내식성을 제공하는 초미세 연선 구조로, 반도체 장비 내부 배선에 필수적입니다. 흰색의 유연한 실리콘 고무 절연체는 30kVDC의 내전압을 견딜 수 있는 뛰어난 절연 강도, 180°C까지의 열 안정성, 그리고 진공 환경에 중요한 낮은 가스 방출 특성을 제공합니다. TCWB 주석 도금 구리선 편조 차폐는 민감한 반도체 공정 제어 및 측정 시스템에 강력한 EMI 보호 기능을 제공합니다. 검은색의 유연한 실리콘 고무 외피는 탁월한 기계적 보호 기능, 반도체 공정 가스에 대한 내화학성, 자외선 안정성, 그리고 클린룸 환경에 적합한 전문적인 외관을 제공합니다.
최대 유연성을 위한 5등급 연선 구조, 0.20mm²~10.0mm²의 단면적, 10kV~150kV의 DC 전압 정격, 그리고 다양한 색상 옵션을 갖춘 이 케이블 플랫폼은 유연하고 차폐된 중전압 케이블이 필요한 광범위한 반도체 제조 애플리케이션에 적합합니다.
| 매개변수 | 세부 |
|---|---|
| 유형 | 중전압 연성 편조 차폐 케이블 |
| 구성 | 싱글 코어 |
| 지휘자 | TC는 5등급 차량을 좌초시켰습니다. |
| 단면적 | 0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm² (선택 사항) |
| 격리 | 유연한 실리콘 고무 화합물, 흰색 |
| 화면 | TCWB 주석 도금 구리선 편조 |
| 칼집 | 유연한 실리콘 고무 화합물, 검정색 |
| 전압 정격 | 30kVDC (10-150kVDC 선택 가능) |
| 온도 등급 | 180°C |
| 색상 옵션 | 빨강, 노랑, 파랑, 흰색, 검정, 초록, 갈색, 주황, 회색 |
| 애플리케이션 | 반도체 제조 산업 |
이 중전압 케이블은 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 클래스 5 연선은 반도체 장비의 좁은 배선 공간에서도 최대한의 유연성을 제공합니다. 실리콘 절연 및 외피는 진공 환경(챔버, 로드록)에서 낮은 가스 방출량을 제공하며 공정 가스에 대한 내화학성을 보장합니다. TCWB 편조는 민감한 공정 제어를 위한 강력한 EMI 보호 기능을 제공합니다. 검은색 외피는 전문적인 외관을 제공하며 클린룸 환경에서 취급 흔적을 가려줍니다.
- 이온 주입 장비: 이온 빔 전원 공급 장치 및 가속 컬럼용 중전압 연결을 제공합니다.
- 플라즈마 에칭 시스템: 플라즈마 발생 및 바이어스 전원 공급 장치에 안정적인 고전압 케이블을 제공합니다.
- 물리적 증착(PVD): 박막 증착 장비용 스퍼터링 음극 전원 연결부를 공급합니다.
- 화학 기상 증착(CVD): 플라즈마 강화 화학 기상 증착(CVD) 시스템용 고전압 케이블을 제공합니다.
- 웨이퍼 핸들링 로봇: 정전식 웨이퍼 척 및 그리퍼에 유연한 고전압 연결을 제공합니다.
- 계측 및 검사 도구: 전자빔 검사 시스템용 차폐형 고전압 케이블을 공급합니다.
- 진공 챔버 피드스루: 챔버 내부 배선에 저가스 방출 고전압 연결을 제공합니다.
- 샘플 및 규정 준수 데이터 요청 - 사용 환경에서 케이블을 평가하십시오.
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기술 사양 다운로드 - 완벽한 전기 성능 데이터를 확인하세요
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자주 묻는 질문
Q1: 실리콘 절연재가 반도체 제조에 적합한 이유는 무엇입니까?
A: 실리콘은 진공 환경에 필수적인 낮은 가스 방출 특성, 뛰어난 유연성, 그리고 반도체 공정 가스에 대한 내화학성을 제공합니다.
Q2: 이 케이블에 사용할 수 있는 전압 정격은 무엇입니까?
A: DC 전압 옵션: 반도체 장비 요구 사항에 맞춰 10kV, 20kV, 30kV, 50kV, 80kV, 100kV, 120kV, 150kV를 제공합니다.
Q3: 사용 가능한 도체 크기는 무엇입니까?
A: 단면적: 다양한 전류 요구 사항에 따라 0.20, 0.35, 0.50, 0.75, 1.0, 1.5, 2.5, 4.0, 6.0, 10.0mm²를 제공합니다.
Q4: 이 용도에 은도금이나 니켈도금 구리가 필요하지 않은 이유는 무엇입니까?
A: TC 주석 도금 구리는 대부분의 반도체 제조 환경에 충분한 내식성을 제공합니다. 극한 환경 조건에서는 요청 시 SPC 또는 NPC를 사용할 수 있습니다.
Q5: 이 케이블은 클린룸 환경에 적합한가요?
A: 네, 실리콘 소재는 입자 발생량이 적고 일반적인 세척제에 대한 내화학성이 뛰어나 클린룸 환경에 적합합니다.