Középfeszültségű, flexibilis, fonott, árnyékolt kábel – fekete, 2,5 mm², 30 kVDC, félvezetőgyártáshoz
Alkalmazás: Félvezetőgyártó ipar, Szekcióterület: 2,5 mm² (0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² opcionális), Feszültség: 30kV DC (10 / 20 / 30 / 50 / 80 / 100 / 120 / 150 kV DC opcionális), Kábel színe: Fekete (Piros / Sárga / Kék / Fehér / Fekete / Zöld / Barna / Narancssárga / Szürke (opcionális), Karmester: TC sodort 5. osztály, Szigetelés: Rugalmas szilikon gumi keverék fehér, Képernyő: TCWB ónozott rézhuzal-fonás, Hüvely: Rugalmas szilikon gumi keverék fekete
Ez a nagy teljesítményű, középfeszültségű, flexibilis, fonott, árnyékolt kábel 2,5 mm²-es, egyeres konstrukcióval rendelkezik, kifejezetten félvezető gyártóberendezésekhez tervezték, amelyek 30 kVDC-s képességet igényelnek, kivételes rugalmassággal, 180 °C-os hőmérséklet-állósággal és robusztus EMI-védelemmel tisztatéri és vákuumkörnyezetekben.
A TC sodrott, 5-ös osztályú vezető ultrafinom sodrást biztosít a maximális rugalmasság, a kiváló vezetőképesség és a korrózióállóság érdekében, ami elengedhetetlen a félvezető szerszámok belső kábelezéséhez. A rugalmas, fehér szilikon gumi szigetelés kiemelkedő dielektromos szilárdságot biztosít 30 kV DC feszültségig, 180 °C-ig terjedő hőstabilitást és alacsony gázkibocsátási tulajdonságokat biztosít, amelyek kritikusak a vákuumkörnyezetekben. A TCWB ónozott rézhuzalfonat robusztus EMI-védelmet biztosít az érzékeny félvezető folyamatirányító és mérőrendszerek számára. A rugalmas, fekete szilikon gumi köpeny kiváló mechanikai védelmet, kémiai ellenállást a félvezető feldolgozási gázokkal szemben, UV-stabilitást és professzionális megjelenést kínál, amely alkalmas tisztatéri környezetbe.
Az 5-ös osztályú sodrás maximális rugalmasságot biztosít, a 0,20 mm²-től 10,0 mm²-ig terjedő keresztmetszetekkel, a 10 kV-tól 150 kV-ig terjedő egyenfeszültség-besorolással és a színválaszték teljes spektrumával ez a kábelplatform a félvezetőgyártási alkalmazások széles skálájához alkalmazkodik, amelyek rugalmas, árnyékolt középfeszültségű kábelezést igényelnek.
| Paraméter | Részletek |
|---|---|
| Típus | Közepes feszültségű, flexibilis, fonott, árnyékolt kábel |
| Konfiguráció | Egymagos |
| Karmester | TC sodrott 5. osztály |
| Szekcióterületek | 0,20 / 0,35 / 0,50 / 0,75 / 1,0 / 1,5 / 2,5 / 4,0 / 6,0 / 10,0 mm² opcionális |
| Szigetelés | Rugalmas szilikon gumi keverék, fehér |
| Képernyő | TCWB ónozott rézhuzalfonat |
| Hüvely | Rugalmas szilikon gumi keverék, fekete |
| Feszültségbesorolás | 30 kV DC (opcionálisan 10–150 kV DC) |
| Hőmérséklet-besorolás | 180°C |
| Színbeállítások | Piros, sárga, kék, fehér, fekete, zöld, barna, narancssárga, szürke |
| Alkalmazás | Félvezetőgyártó ipar |
Ez a középfeszültségű kábel kifejezetten a félvezetőgyártás szigorú követelményeihez készült. Az 5-ös osztályú sodrás maximális rugalmasságot biztosít a félvezető szerszámokban való szoros fektetéshez. A szilikon szigetelés és köpeny alacsony gázkibocsátást biztosít vákuumos környezetben (kamrák, töltőzsilipek), és kémiai ellenállást biztosít a feldolgozó gázokkal szemben. A TCWB fonat robusztus EMI-védelmet biztosít az érzékeny folyamatvezérléshez. A fekete köpeny professzionális megjelenést biztosít, és elrejti a kezelési nyomokat tisztatéri környezetben.
- Ionbeültetési berendezések: Középfeszültségű csatlakozásokat biztosít ionsugaras tápegységekhez és gyorsítóoszlopokhoz
- Plazma maratási rendszerek: Megbízható nagyfeszültségű kábelezést biztosít plazmagenerátorokhoz és előfeszítő tápegységekhez
- Fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD): Vékonyréteg-leválasztó szerszámokhoz porlasztó katód tápcsatlakozásokat biztosít
- Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD): Nagyfeszültségű kábelezést biztosít plazma-erősítésű CVD rendszerekhez
- Ostyakezelő robotok: Rugalmas nagyfeszültségű csatlakozásokat tesz lehetővé elektrosztatikus lapkatartókhoz és megfogókhoz
- Metrológiai és ellenőrző eszközök: Árnyékolt nagyfeszültségű kábelezést biztosít elektronsugaras vizsgálórendszerekhez
- Vákuumkamra átvezetők: Alacsony gázkibocsátású nagyfeszültségű csatlakozásokat biztosít a kamra belső vezetékezéséhez
- Minta és megfelelőségi adatok kérése - Értékelje a kábelt az alkalmazásában
-
Műszaki adatok letöltése - Teljes körű elektromos teljesítményadatok beszerzése
-
Lépjen kapcsolatba mérnöki csapatunkkal - Beszélje meg az elektronikus bekötési igényeit
-
Versenyképes árajánlat kérése - OEM/ODM megoldások elérhetők
GYIK
1. kérdés: Miért alkalmas a szilikon szigetelés félvezetőgyártáshoz?
A: A szilikon alacsony gázkibocsátási tulajdonságokkal rendelkezik, amelyek elengedhetetlenek a vákuumkörnyezetekhez, kiváló rugalmasságot és kémiai ellenállást biztosít a félvezető-feldolgozó gázokkal szemben.
2. kérdés: Milyen feszültségbesorolású kábelek érhetők el?
A: Egyenfeszültségű opciók: 10kV, 20kV, 30kV, 50kV, 80kV, 100kV, 120kV, 150kV a félvezető szerszámok követelményeinek megfelelően.
3. kérdés: Milyen vezetőméretek érhetők el?
A: Keresztmetszetek: 0,20, 0,35, 0,50, 0,75, 1,0, 1,5, 2,5, 4,0, 6,0, 10,0 mm² különböző áramkövetelményekhez.
4. kérdés: Miért nem szükséges ezüstözött vagy nikkelezett réz ehhez az alkalmazáshoz?
A: A TC ónozott réz megfelelő korrózióállóságot biztosít a legtöbb félvezetőgyártási környezetben; extrém körülményekhez SPC vagy NPC kérésre rendelkezésre áll.
5. kérdés: Kompatibilis ez a kábeltisztaszoba?
V: Igen, a szilikon anyagok kompatibilisek a tisztatérrel, alacsony részecskeképződéssel és a szokásos tisztítószerekkel szembeni kémiai ellenállással rendelkeznek.