中压柔性编织屏蔽电缆 – 黑色 2.5mm² 30kVDC，适用于半导体制造
应用： 半导体制造行业 截面面积： 2.5mm²（可选0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm²） 电压： 30kVDC（10/20/30/50/80/100/120/150 kV DC 可选） 线缆颜色： 黑色（红色/黄色/蓝色/白色/黑色/绿色/棕色/橙色/灰色可选）， 导体： TC搁浅5级 绝缘： 白色柔性硅橡胶化合物 屏幕： TCWB镀锡铜线编织 鞘： 黑色柔性硅橡胶化合物
这款高性能中压柔性编织屏蔽电缆采用 2.5mm² 单芯结构，专为需要 30kVDC 能力的半导体制造设备而设计，具有出色的柔韧性、180°C 耐温性以及在洁净室和真空环境中强大的 EMI 保护能力。
TC系列5级绞合导体采用超细绞合结构，具有极佳的柔韧性、优异的导电性和耐腐蚀性，是半导体设备内部布线的必要条件。白色柔性硅橡胶绝缘层具有出色的介电强度，可承受30kVDC电压，热稳定性高达180°C，且低释气性能，对真空环境至关重要。TCWB镀锡铜线编织屏蔽层为敏感的半导体过程控制和测量系统提供强大的电磁干扰防护。黑色柔性硅橡胶护套具有卓越的机械防护性能、耐半导体加工气体的化学腐蚀性、紫外线稳定性，以及适用于洁净室环境的专业外观。
该电缆平台采用 5 级绞合结构，具有最大的灵活性，截面积从 0.20mm² 到 10.0mm²，直流电压等级从 10kV 到 150kV，并提供全系列的颜色选择，可适应各种需要柔性屏蔽中压电缆的半导体制造应用。
| 范围 | 细节 |
|---|---|
| 类型 | 中压柔性编织屏蔽电缆 |
| 配置 | 单核 |
| 导体 | TC搁浅5级 |
| 区域 | 可选规格：0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm² |
| 绝缘 | 白色柔性硅橡胶化合物 |
| 屏幕 | TCWB镀锡铜线编织 |
| 鞘 | 黑色柔性硅橡胶化合物 |
| 额定电压 | 30kVDC（可选10-150kVDC） |
| 温度等级 | 180°C |
| 颜色选项 | 红色、黄色、蓝色、白色、黑色、绿色、棕色、橙色、灰色 |
| 应用 | 半导体制造行业 |
这款中压电缆专为满足半导体制造的严苛要求而设计。5 级绞合结构使其在半导体设备中布线时具有极佳的灵活性。硅胶绝缘层和护套可有效降低真空环境（例如真空室、负载锁）中的气体释放，并具有优异的耐化学腐蚀性能，可抵御加工气体的侵害。TCWB 编织层确保了对精密工艺控制的可靠电磁干扰 (EMI) 防护。黑色护套外观专业，并可有效隐藏洁净室环境中的操作痕迹。
- 离子注入设备： 为离子束电源和加速柱提供中压连接
- 等离子刻蚀系统： 为等离子体发生器和偏置电源提供可靠的高压电缆
- 物理气相沉积（PVD）： 为薄膜沉积工具提供溅射阴极电源连接
- 化学气相沉积（CVD）： 为等离子增强化学气相沉积系统提供高压电缆
- 晶圆搬运机器人： 可为静电晶圆卡盘和夹爪提供灵活的高压连接
- 计量和检测工具： 为电子束检测系统提供屏蔽高压电缆
- 真空室馈通： 为腔室内部布线提供低释气高压连接
常问问题
Q1：为什么硅胶绝缘材料适合半导体制造？
答：硅胶具有低释气特性，这对于真空环境至关重要；它还具有优异的柔韧性和对半导体加工气体的耐化学性。
Q2：此电缆有哪些电压等级可供选择？
A：直流电压选项：10kV、20kV、30kV、50kV、80kV、100kV、120kV、150kV，以满足半导体工具的要求。
Q3：有哪些规格的导线可供选择？
A：截面面积：0.20、0.35、0.50、0.75、1.0、1.5、2.5、4.0、6.0、10.0mm²，满足各种电流要求。
Q4：为什么此应用不需要镀银或镀镍铜？
答：TC镀锡铜在大多数半导体制造环境中具有足够的耐腐蚀性；对于极端条件，可根据要求提供SPC或NPC。
Q5：这种电缆是否符合洁净室要求？
答：是的，硅胶材料符合洁净室要求，颗粒产生量低，并且能耐受常见清洁剂的化学腐蚀。