半導体製造用中電圧フレキシブル編組シールドケーブル – 黒色 2.5mm² 30kVDC
応用： 半導体製造業界、 セクションエリア: 2.5mm²（0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm² オプション） 電圧： 30kVDC（10 / 20 / 30 / 50 / 80 / 100 / 120 / 150 kV DCはオプション） ケーブルの色: 黒（赤／黄／青／白／黒／緑／茶／オレンジ／グレーはオプション） 導体： TC 立ち往生クラス 5、 絶縁： 柔軟性シリコーンゴム化合物白色、 画面： TCWB錫メッキ銅線編組 シース： 柔軟性シリコーンゴム化合物（黒）
この高性能中電圧フレキシブル編組シールドケーブルは、2.5mm²の単芯構造を採用しており、30kVDCの能力を必要とする半導体製造装置向けに特別に設計されています。また、優れた柔軟性、180℃の耐熱性、クリーンルームや真空環境における堅牢なEMI保護機能を備えています。
TC撚り線クラス5導体は、最大限の柔軟性、優れた導電性、耐腐食性を実現する極細撚り構造で、半導体製造装置の内部配線に不可欠です。白色の柔軟なシリコーンゴム絶縁体は、30kVDCの耐電圧、180℃までの耐熱性、真空環境に不可欠な低アウトガス特性といった優れた絶縁耐力を発揮します。TCWB錫メッキ銅線編組シールドは、高感度な半導体プロセス制御・計測システムに堅牢なEMI保護を提供します。黒色の柔軟なシリコーンゴムシースは、優れた機械的保護、半導体プロセスガスに対する耐薬品性、耐紫外線性、クリーンルーム環境に適したプロフェッショナルな外観を備えています。
最大限の柔軟性を実現するクラス5撚り線構造、0.20mm²から10.0mm²までの断面積、10kVから150kVまでのDC電圧定格、そして豊富なカラーバリエーションを備えたこのケーブルプラットフォームは、柔軟性と遮蔽性を備えた中電圧ケーブルを必要とする幅広い半導体製造用途に対応します。
| パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| タイプ | 中電圧フレキシブル編組シールドケーブル |
| 構成 | シングルコア |
| 導体 | TCがクラス5で立ち往生 |
| セクションエリア | 0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm²（オプション） |
| 絶縁 | 柔軟性シリコーンゴム化合物、白色 |
| 画面 | TCWB錫メッキ銅線編組 |
| シース | 柔軟性のあるシリコーンゴム化合物、黒色 |
| 定格電圧 | 30kVDC（10～150kVDCはオプション） |
| 温度定格 | 180℃ |
| カラーオプション | 赤、黄、青、白、黒、緑、茶、オレンジ、灰色 |
| 応用 | 半導体製造業界 |
この中電圧ケーブルは、半導体製造における厳しい要求を満たすよう特別に設計されています。クラス5の撚り線構造により、半導体製造装置内での狭い配線作業において最大限の柔軟性を実現します。シリコン絶縁体とシースは、真空環境（チャンバー、ロードロックなど）でのガス放出を抑え、プロセスガスに対する耐薬品性も備えています。TCWB編組により、高感度なプロセス制御における強力なEMI保護を実現します。黒色のシースは、クリーンルーム環境においてプロフェッショナルな外観を演出し、取り扱い痕を目立たなくします。
- イオン注入装置： イオンビーム電源および加速カラム用の中電圧接続を提供します。
- プラズマエッチングシステム： プラズマ発生装置およびバイアス電源用の信頼性の高い高電圧ケーブルを提供します。
- 物理蒸着（PVD）： 薄膜堆積装置用のスパッタリング陰極電源接続を提供します。
- 化学気相成長法（CVD）： プラズマCVDシステム用の高電圧ケーブルを提供します。
- ウェハ搬送ロボット： 静電ウェハチャックおよびグリッパー用の柔軟な高電圧接続を可能にする
- 計測および検査ツール： 電子ビーム検査システム用のシールド付き高電圧ケーブルを供給します。
- 真空チャンバーのフィードスルー： チャンバー内部配線用の低アウトガス高電圧接続を提供します
- サンプルおよびコンプライアンスデータの請求 - アプリケーションにおけるケーブルの評価
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技術仕様書をダウンロード - 完全な電気性能データを取得する
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エンジニアリングチームにお問い合わせください 電子配線に関するご要望についてご相談ください。
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競争力のある見積もりを入手する - OEM/ODMソリューションをご利用いただけます
よくある質問
Q1：シリコーン絶縁材が半導体製造に適しているのはなぜですか？
A：シリコーンは、真空環境に不可欠な低アウトガス性、優れた柔軟性、および半導体製造プロセスガスに対する耐薬品性を備えています。
Q2：このケーブルにはどのような電圧定格がありますか？
A：DC電圧オプション：半導体製造装置の要件に合わせて、10kV、20kV、30kV、50kV、80kV、100kV、120kV、150kV。
Q3：どのような導体サイズが利用可能ですか？
A：断面積：0.20、0.35、0.50、0.75、1.0、1.5、2.5、4.0、6.0、10.0mm²（様々な電流要件に対応）。
Q4：この用途では、銀メッキまたはニッケルメッキの銅が不要なのはなぜですか？
A：TC錫メッキ銅は、ほとんどの半導体製造環境において十分な耐食性を提供します。過酷な環境向けには、ご要望に応じてSPCまたはNPCをご用意できます。
Q5：このケーブルはクリーンルームに対応していますか？
A：はい、シリコーン素材はクリーンルームに対応しており、粒子発生量が少なく、一般的な洗浄剤に対する耐薬品性も備えています。