中壓柔性編織屏蔽電纜 – 黑色 2.5mm² 30kVDC，適用於半導體製造
應用： 半導體製造業 截面面積： 2.5mm²（可選0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm²） 電壓： 30kVDC（10/20/30/50/80/100/120/150 kV DC 可選） 線纜顏色： 黑色（紅色/黃色/藍色/白色/黑色/綠色/棕色/橙色/灰色可選）， 導體： TC擱淺5級 絕緣： 白色柔性矽橡膠化合物 螢幕: TCWB鍍錫銅線編織 鞘： 黑色柔性矽橡膠化合物
這款高性能中壓柔性編織屏蔽電纜採用 2.5mm² 單芯結構，專為需要 30kVDC 能力的半導體製造設備而設計，具有出色的柔韌性、180°C 耐溫性以及在潔淨室和真空環境中強大的 EMI 保護能力。
TC系列5級絞合導體採用超細絞合結構，具有極佳的柔韌性、優異的導電性和耐腐蝕性，是半導體設備內部佈線的必要條件。白色柔性矽橡膠絕緣層具有優異的介電強度，可承受30kVDC電壓，熱穩定性高達180°C，且低釋氣性能，對真空環境至關重要。 TCWB鍍錫銅線編織屏蔽為敏感的半導體製程控制和測量系統提供強大的電磁幹擾防護。黑色柔性矽橡膠護套具有卓越的機械防護性能、耐半導體加工氣體的化學腐蝕性、紫外線穩定性，以及適用於無塵室環境的專業外觀。
此電纜平台採用 5 級絞合結構，具有最大的靈活性，截面積從 0.20mm² 到 10.0mm²，直流電壓等級從 10kV 到 150kV，並提供全系列的顏色選擇，可適應各種需要柔性屏蔽中壓電纜的半導體製造應用。
| 範圍 | 細節 |
|---|---|
| 類型 | 中壓柔性編織屏蔽電纜 |
| 配置 | 單核 |
| 導體 | TC擱淺5級 |
| 區域 | 可選規格：0.20 / 0.35 / 0.50 / 0.75 / 1.0 / 1.5 / 2.5 / 4.0 / 6.0 / 10.0mm² |
| 絕緣 | 白色柔性矽橡膠化合物 |
| 螢幕 | TCWB鍍錫銅線編織 |
| 鞘 | 黑色柔性矽橡膠化合物 |
| 額定電壓 | 30kVDC（可選10-150kVDC） |
| 溫度等級 | 180°C |
| 顏色選項 | 紅色、黃色、藍色、白色、黑色、綠色、棕色、橘色、灰色 |
| 應用 | 半導體製造業 |
這款中壓電纜專為滿足半導體製造的嚴苛要求而設計。 5 級絞合結構使其在半導體設備中佈線時具有極佳的靈活性。矽膠絕緣層和護套可有效降低真空環境（例如真空室、負載鎖）中的氣體釋放，並具有優異的耐化學腐蝕性能，可抵禦加工氣體的侵害。 TCWB 編織層確保了對精密製程控制的可靠電磁幹擾 (EMI) 防護。黑色護套外觀專業，並可有效隱藏無塵室環境中的操作痕跡。
- 離子注入設備： 為離子束電源和加速柱提供中壓連接
- 等離子蝕刻系統： 為等離子體產生器和偏壓電源提供可靠的高壓電纜
- 物理氣相沉積（PVD）： 為薄膜沉積工具提供濺鍍陰極電源連接
- 化學氣相沉積（CVD）： 為等離子增強化學氣相沉積系統提供高壓電纜
- 晶圓搬運機器人： 可為靜電晶圓卡盤和夾爪提供靈活的高壓連接
- 計量和檢測工具： 為電子束檢測系統提供屏蔽高壓電纜
- 真空室饋通： 為腔室內部佈線提供低釋氣高壓連接
常問問題
Q1：為什麼矽膠絕緣材料適合半導體製造？
答：矽膠具有低釋氣特性，這對於真空環境至關重要；它還具有優異的柔韌性和對半導體加工氣體的耐化學性。
Q2：此電纜有哪些電壓等級可供選擇？
A：直流電壓選項：10kV、20kV、30kV、50kV、80kV、100kV、120kV、150kV，以滿足半導體工具的要求。
Q3：有哪些規格的導線可供選擇？
A：截面面積：0.20、0.35、0.50、0.75、1.0、1.5、2.5、4.0、6.0、10.0mm²，符合各種電流需求。
Q4：為什麼此應用不需要鍍銀或鍍鎳銅？
答：TC鍍錫銅在大多數半導體製造環境中具有足夠的耐腐蝕性；對於極端條件，可根據要求提供SPC或NPC。
Q5：這種電纜是否符合無塵室要求？
答：是的，矽膠材料符合無塵室要求，顆粒產生量低，並且能耐受常見清潔劑的化學腐蝕。